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363201半导体材料、器件及集成电路生产设备
3632020000制版设备
3632030000掩模修补设备
363204芯片制造设备
363205封装测试设备
363206检测设备
363207电子元件及机电组件生产设备
363208电子真空器件生产设备
363209平板显示器件（FPD）生产设备
363210净化设备及类似设备
363211环境模拟和可靠性设备
363212电子整机装联设备
3632990000其他电子工业专用设备
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